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![]() VakuumtechnikAnwendungen in der Vakuumtechnik arbeiten durch die Herstellung eines künstlichen Vakuums in einem Druckbereich, der unterhalb des Umgebungsdrucks liegt. Je nach Anwendungsgebiet unterscheidet sich hierbei die Höhe des Vakuums.
SCHMIDT-KUPPLUNG
Bei der Waferherstellung |
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